德圖氣探針又可稱之為微區(qū)X射線譜分析儀，實際上就是把高速的電子打在物體上。探針?biāo)东@的不是電子，它要的是物體受到電子攻擊產(chǎn)生的X線，因為這個X線含有標(biāo)本的化學(xué)成分信息，所以它長用來分析物體里有什么，這樣我們就知道標(biāo)本里面有多少氫多少氧等等。

　　德圖氣探針是X射線光譜學(xué)與電子光學(xué)技術(shù)相結(jié)合而產(chǎn)生的。48年法國的R.卡斯坦制造了臺電子探針儀。58年法國首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結(jié)構(gòu)上有許多共同處。70年代以來生產(chǎn)的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能，有的還附加另一些附件，使之除作微區(qū)成分分析外，還能觀察和研究微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)等。

　　德圖氣探針主要包括：探針形成系統(tǒng)(電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號檢測系統(tǒng)和顯示、記錄系統(tǒng)、樣品室、高壓電源和掃描系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。

　　德圖氣探針有三種基本工作方式：

　　1.點分析用于選定點的全譜定性分析或定量分析，以及對其中所含元素進行定量分析；

　　2.線分析用于顯示元素沿選定直線方向上的濃度變化；

　　3.面分析用于觀察元素在選定微區(qū)內(nèi)濃度分布。

　　由莫塞萊定律可知，各種元素的特征X射線都具有各自確定的波長，通過探測這些不同波長的X射線來確定樣品中所含有的元素，這就是探針定性分析的依據(jù)。而將被測樣品與標(biāo)準樣品中元素Y的衍射強度進行對比，就能進行探針的定量分析。當(dāng)然利用電子束激發(fā)的X射線進行元素分析，其前提是入射電子束的能量必須大于某元素原子的內(nèi)層電子臨界電離激發(fā)能。